Τα cryopumps κατασκευάζονται σύμφωνα με την αρχή της συμπύκνωσης αερίου, της κρυογονικής προσρόφησης, της κρυογονικής παγίδευσης ή της αναρρόφησης για την απόκτηση κενού.
1. Σύμφωνα με την πίεση λειτουργίας της αντλίας, μπορεί να χωριστεί σε κρυοψούμψη για εύρος συνεχούς ροής, κρυοψώνα για μοριακό εύρος ροής, συνήθως αντλία συμπυκνωμάτων συν ένα στάδιο προσρόφησης ή ένα στάδιο κρυογονικής σύλληψης.
2. Σύμφωνα με τη μέθοδο ψύξης, μπορεί να χωριστεί σε κρυοπαψύλακα δεξαμενής αποθήκευσης, εξατμιστικό cryopump και cryopump ψύξης. Μεταξύ αυτών, το cryopump της δεξαμενής αποθήκευσης και το εξατμιστικό cryopump χρησιμοποιούν και τα δύο υγρό ψυκτικό μέσο για ψύξη, η επιφάνεια της ψυκτικής ασπίδας χρησιμοποιείται συνήθως υγρό άζωτο και η κρυογονική επιφάνεια χρησιμοποιείται συνήθως υγρό ήλιο ή ήλιο αερίου για ψύξη. Λόγω της ευφλεκτότητας, της εκρηκτικότητας και της υψηλής τιμής του υγρού υδρογόνου, εξακολουθεί να χρησιμοποιείται σπάνια παρά την υψηλότερη ενθαλπία εξάτμισης από το υγρό ήλιο.
Τα ψυγεία cryopump ψύξης χρησιμοποιούνται συνήθως από την Gifford. Τύπος McMahon (αναφέρεται ως ψυγείο G.M) και τύπος Stirling (αναφέρεται ως ψυγείο St). Για κρυοψώνες ψύξης με μεγάλη ταχύτητα άντλησης, μπορεί να χρησιμοποιηθεί ένα ψυγείο ποιότητας θερμοκρασίας υγρού ηλίου και μπορεί να ρυθμιστεί μια βαλβίδα J-T για να σχηματίσει μια συσκευή ψύξης υγρής κυκλοφορίας και μερικές φορές υγρό άζωτο σε δεξαμενή αποθήκευσης υγρών ή μηχανή υγροποίησης αζώτου χρησιμοποιείται για την ψύξη της επιφάνειας διαφράγματος και θωράκισης.
Η κύρια απόδοση του cryopump
(1) Υψηλότερη από την ταχύτητα άντλησης, καλύτερη από όλους τους άλλους τύπους αντλιών.
(2)Δεν υπάρχουν περιορισμοί στο σχήμα, μπορεί να βυθιστεί στο θάλαμο κενού ή να στερεωθεί στον τοίχο του θαλάμου κενού με φλάντζα.
(3)Μπορεί να παρέχει ένα εντελώς καθαρό κενό χωρίς ρύπανση στο σύστημα κενού.
(4) Μπορεί να επιτευχθεί βαθμός κενού εξαιρετικά χαμηλής πίεσης, όπως κάτω από 10-12Pa. Επιπλέον, η λειτουργία του cryopump είναι αξιόπιστη και όταν η ταχύτητα άντλησης είναι σχετικά μεγάλη, το λειτουργικό κόστος της επένδυσής του είναι χαμηλότερο από αυτό της παραδοσιακής αντλίας κενού και είναι εύκολο να πραγματοποιηθεί αυτοματοποίηση.