Ένα cryopump είναι μια αντλία κενού που χρησιμοποιεί μια επιφάνεια χαμηλής θερμοκρασίας για να συμπυκνώσει αέριο, επίσης γνωστό ως αντλία συμπυκνωμάτων. Το cryopump μπορεί να λάβει ένα καθαρό κενό με το υψηλότερο ποσοστό άντλησης και τη χαμηλότερη τελική πίεση, και χρησιμοποιείται ευρέως στην έρευνα και την παραγωγή των ημιαγωγών και των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, καθώς επίσης και της μοριακής έρευνας ακτίνων, του κενού εξοπλισμού επιστρώματος, των οργάνων ανάλυσης επιφάνειας κενού, των εμφυτεύματα ιόντων και της διαστημικής προσομοίωσης. συσκευές κ.λπ.
Αρχή άντλησης Το cryopump είναι εξοπλισμένο με ένα κρύο πιάτο που ψύχεται σε πολύ χαμηλή θερμοκρασία από υγρό ήλιο ή ψυγείο. Συμπυκνώνει το αέριο και διατηρεί την πίεση ατμού του συμπυκνώματος κάτω από την απόλυτη πίεση της αντλίας, έτσι ώστε να επιτευχθεί το αποτέλεσμα άντλησης. Οι κύριες λειτουργίες της άντλησης χαμηλής θερμοκρασίας είναι η συμπύκνωση χαμηλής θερμοκρασίας, η προσρόφηση χαμηλής θερμοκρασίας και η καταγραφή χαμηλής θερμοκρασίας.
κρυοπαγούρι
(1) Συμπύκνωση χαμηλής θερμοκρασίας: τα μόρια αερίου συμπυκνώνονται στην επιφάνεια της κρύας πλάκας ή στο στρώμα συμπυκνωμένου αερίου και η πίεση ισορροπίας είναι βασικά ίση με την πίεση ατμού του συμπυκνώματος. Κατά την άντληση υδρογόνου, η θερμοκρασία της κρύας πλάκας είναι χαμηλότερη.
(2) προσρόφηση χαμηλής θερμοκρασίας: Τα μόρια αερίου προσροφούνται στην επιφάνεια του προσροφητικού που ντύνεται στην κρύα πλάκα με ένα πάχος ενός μοριακού στρώματος. Η πίεση ισορροπίας για προσρόφηση είναι πολύ χαμηλότερη από την πίεση ατμού στην ίδια θερμοκρασία.
(3)Κρυογονική παγίδευση: Τα μόρια αερίου που δεν μπορούν να συμπυκνωθούν στη θερμοκρασία εκχύλισης θάβονται και προσροφώνται από το αυξανόμενο στρώμα συμπυκνωμένου αερίου.